溫度、壓力、流量是工業(yè)中3大檢測參數，其中，流量檢測有很長(cháng)的歷史。

近年來(lái)，隨著(zhù)對微電子機械系統(MEMS)的深入研究和取得的進(jìn)展，傳統的工業(yè)和流體力學(xué)研究的流量傳感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向發(fā)展，微型流量傳感器已成為MEMS的重要研究方向。

MEMS流量傳感器具有多種用途，例如感測環(huán)境流量、工業(yè)氣體流量監控、生物醫學(xué)應用中的流量感測和海洋流體動(dòng)力感測。MEMS流量傳感器的緊湊尺寸，高靈敏度，低價(jià)格和批量生產(chǎn)功能使其在商業(yè)和工業(yè)應用中具有很大的吸引力。

產(chǎn)品原理

MEMS熱式流量傳感器的流量芯片由兩個(gè)熱偶堆和一個(gè)加熱電阻組成，熱偶堆對稱(chēng)地分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個(gè)隔熱底座上。

加熱電阻對熱偶堆的熱結進(jìn)行加熱，熱偶堆熱結和冷結之間的溫度梯度導致輸出電壓。當流體靜止時(shí)加熱電阻兩側對稱(chēng)位置的溫度是相同的；當流體從右向左流動(dòng)時(shí)等溫線(xiàn)向左側傾斜，加熱電阻兩側對稱(chēng)位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側的熱偶堆測定 。

由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。

煒盛科技自主研發(fā)的微流量傳感器于2012年即研發(fā)成功并取得相關(guān)專(zhuān)利，產(chǎn)品質(zhì)量穩定可靠，符合我司參與起草的《JB/T 13111-2017 熱式質(zhì)量流量傳感器》行業(yè)標準。

產(chǎn)品特點(diǎn)

新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)

精度高，響應速度快，重復性好

可精確測量極小流量

經(jīng)過(guò)完全校準和溫度補償

產(chǎn)品應用領(lǐng)域

微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測，具有很好的精度與重復性。在工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗、產(chǎn)品質(zhì)量把控、生產(chǎn)效率提高、能源節約等方面發(fā)揮著(zhù)重要作用。

• 醫療領(lǐng)域

• 儀器儀表

• 其他領(lǐng)域